M-CDU（磁悬浮泵药液传输单元）
应用于半导体设备中高纯度药液传输单元
①微型化，集成度高
②占地面积（71.1L*44.4W*43.0H,单位：cm）
③稳定，恒定压力，响应速度快
④磁悬浮泵供液、流量大、洁净度高
⑤全机台防腐蚀化设计，可输送酸、碱、有机药液
yl6809永利科技凭借先进的自主研发技术和丰富的产品线，已发展成为具有一定
竞争力的半导体领域专用设备及核心部件供应商。
①微型化，集成度高
②占地面积（71.1L*44.4W*43.0H,单位：cm）
③稳定，恒定压力，响应速度快
④磁悬浮泵供液、流量大、洁净度高
⑤全机台防腐蚀化设计，可输送酸、碱、有机药液
①尾气去除效率>95%
②占地面积（280L*120W*230H，单位：cm）
③稳定的风量控制（波动<3%）
④定制化排水模式，环保节水
⑤机台全局防腐蚀化设计
①主动增压，弥补厂务能力不足，适合复杂管路改造
②占地面积（151L*111W*178.5H，单位：cm）
③需求压力设定值±3%以内的闭环压力实时控制
④定制化服务，满足4~18腔设备定制
⑤机台全局防腐蚀化设计
①取代传统药液需求，安全环保，清洗洁净
②占地面积（151L*111W*178.5H，单位：cm）
③可维持浓度设定值±0.5ppm以内的浓度控制
④定制化服务，满足25-165ppm浓度定制
⑤臭氧水接触区域采用PFA耐酸碱材料减少颗粒产生
①抗腐蚀结构设计
②体积小，集成度高（151L*111W*178.5H，单位：cm）
③宽流量范围：5~40LPM
④低比阻抗效果：0.025~2MΩ·cm