为主设备提供臭氧功能水，可用来去除晶圆制造过程中增加的金属颗粒和有机物
①取代传统药液需求，安全环保，清洗洁净
②占地面积（151L*111W*178.5H，单位：cm）
③可维持浓度设定值±0.5ppm以内的浓度控制
④定制化服务，满足25-165ppm浓度定制
⑤臭氧水接触区域采用PFA耐酸碱材料减少颗粒产生
