为主设备输送药液，可实现压力-流量闭环精准控制
①转子运行无任何接触、无磨损，无颗粒产生
②微型化、集成度高
③抗腐蚀结构设计,可输送酸、碱、有机药液
④耐高温（90℃）、使用寿命长
⑤流量大、转速高
产品型号：SHM-075
转速0~9000rpm，最大流量75L/min
产品型号：SHM-140
最大转速0~8000rpm，最大流量140L/min
目前该产品已成熟应用于多种设备，如湿法清洗单片机、湿法槽式清洗机、化学机械研磨液供给装置、电镀设备、化学药液供液装置、化镀设备等。
