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CAF(化学空气过滤器)
应用于半导体厂务系统及湿法制程主设备,可定制化
部件功能:
过滤空气中的酸、碱、有机等气体
特性:
①抗腐蚀结构设计
②过滤器材料: 增强性活性炭、离子交换树脂
③去除效率:初期>90%
④使用寿命长:12个月
⑤功能可集成,同时去除酸碱有机气体