过滤气体中的颗粒物，控制气体流量和传输方向
①抗腐蚀结构设计
②过滤器材料： 100%PTFE
③去除效率： 99.99995%@MPPS@0.1 ㎛
④风量面内均一性<15%
⑤主设备交互通信，主动控制+被动控制
