ECS（排气处理控制系统）
一家集研发、制造、销售于一体的高端制造企业
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专注于半导体附属设备及核心零部件
yl6809永利科技（无锡）有限公司(简称“yl6809永利科技”)坚持以技术创新为核心，以半导体附属设备及零部件的研发和产业化为目标，以差异化竞争和创新的发展战略为方向，是一家集研发、制造、销售于一体的高端制造企业。
yl6809永利科技凭借先进的自主研发技术和丰富的产品线，已发展成为具有一定竞争力的半导体领域专用设备及核心部件供应商，公司产品已经进入到国内90%以上的12英寸半导体终端用户，并建立了长久稳定的合作关系，得到了客户的认可，并取得良好的市场口...
①尾气去除效率>95%
②占地面积（280L*120W*230H，单位：cm）
③稳定的风量控制（波动<3%）
④定制化排水模式，环保节水
⑤机台全局防腐蚀化设计
①主动增压，弥补厂务能力不足，适合复杂管路改造
②占地面积（151L*111W*178.5H，单位：cm）
③需求压力设定值±3%以内的闭环压力实时控制
④定制化服务，满足4~18腔设备定制
⑤机台全局防腐蚀化设计
①取代传统药液需求，安全环保，清洗洁净
②占地面积（151L*111W*178.5H，单位：cm）
③可维持浓度设定值±0.5ppm以内的浓度控制
④定制化服务，满足25-165ppm浓度定制
⑤臭氧水接触区域采用PFA耐酸碱材料减少颗粒产生
①抗腐蚀结构设计
②过滤器材料： 100%PTFE
③去除效率： 99.99995%@MPPS@0.1 ㎛
④风量面内均一性<15%
⑤主设备交互通信，主动控制+被动控制
①抗腐蚀结构设计
②过滤器材料： 增强性活性炭、离子交换树脂
③去除效率：初期＞90%
④使用寿命长：12个月
⑤功能可集成，同时去除酸碱有机气体
①转子运行无任何接触、无磨损，无颗粒产生
②微型化、集成度高
③抗腐蚀结构设计,可输送酸、碱、有机药液
④耐高温（90℃）、使用寿命长
⑤流量大、转速高
产品型号：SHM-075
转速0~9000rpm，最大流量75L/min
产品型号：SHM-140
最大转速0~8000rpm，最大流量140L/min
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